概述

適用于工業(yè)高真空技術(shù)的正排量風(fēng)機。

帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計，可輸送中性（HM 設(shè)計）和腐蝕性（CM 設(shè)計）氣體，用于工業(yè)高真空技術(shù)。 此系列的特點是高能效。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

AERZEN CM 系列共可選 14 種結(jié)構(gòu)尺寸，適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適用的壓力范圍在 10^-5 mbar 絕對壓力以內(nèi)。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：

通過 ATEX 0 區(qū)認(rèn)證（內(nèi)部）

4 種不同電機變體，實現(xiàn)較佳選擇

機械負(fù)載較高（高達(dá) 150 mbar），因此縮短了泵送時間

僅消耗少量水、氮和油

適用于凈室環(huán)境應(yīng)用

借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍（從 1.450 到 7.400 rpm，或從 1.240 到 2.900 rpm）

可選擇縱向或水平輸送方向

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

AERZEN HM 系列可選 9 種結(jié)構(gòu)尺寸，在 10^-5 mbar 的絕對真空壓力條件下，適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：

4 種不同電機變體，實現(xiàn)較佳選擇

機械強度較高（HM 系列高達(dá) 230 mbar），因而大幅縮短泵送時間

耗水量、耗氮量低

適用于凈室環(huán)境應(yīng)用

借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍，各項參數(shù)針對 AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機進(jìn)行過調(diào)整，卓有成效

可選擇縱向或水平流動方向

技術(shù)參數(shù)

結(jié)構(gòu)形式：正排量風(fēng)機

體積流量：406 止于  15.570 m3/h

介質(zhì)：空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送：無油

FINAL VACUUM：最大表壓（單位：10^-5mbar）

性能

眾多制造工藝經(jīng)過較高的壓力差優(yōu)化，原因正是如此。

AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機大幅縮短泵送時間，從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進(jìn)步。

設(shè)計與結(jié)構(gòu)

AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風(fēng)機頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優(yōu)勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤滑劑，PFPE 油通常用于半導(dǎo)體技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機在輸送室和軸承室配有專用的矩形圓環(huán)—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者，中和室可以用密封氣體沖洗，以實現(xiàn)更強的密封效果。 一體化密閉式電機可保障對驅(qū)動軸的密封。 因此無需連接大氣的軸通道，從而可以從技術(shù)上實現(xiàn)明顯更高的轉(zhuǎn)速。

應(yīng)用

中性氣體還是腐蝕性氣體？ AERZEN 針對二者都提供了適用的解決方案，并且結(jié)構(gòu)尺寸也非常合理！

帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機始終結(jié)合前級泵使用*。

此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風(fēng)機，然后泵送流程啟動。 根據(jù)應(yīng)用的不同，可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數(shù)集時，前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)

微電子工業(yè)

平面屏幕制造

激光技術(shù)

太陽能技術(shù)

氦檢漏裝置

化學(xué)工藝技術(shù)

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機時，必須配備額外的前級泵（多級系統(tǒng)）。